SJ6000精密激光干涉機床測量儀具有豐富的模塊化組件,可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。
PLR3000高靈敏度光纖激光尺是新一代高精度位置檢測設備,基于激光干涉測量原理,專為超精密加工、微電子制造、光刻技術、航空航天等高要求領域設計。其突破性技術融合高穩定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸,支持單軸至多軸測量。
?PLR3000高穩頻精度光纖激光尺可根據用戶需求,配置單軸、雙軸以及三軸輸出,輕松實現多軸測量或多自由度測量。同時提供多種干涉探頭配置,用戶可根據實際需求選擇角錐棱鏡干涉儀、平面鏡干涉儀和差分干涉儀以及無內置干涉鏡組的測量探頭,滿足用戶各種復雜場景應用。
PLR3000系列光纖激光尺配置高穩定氦氖激光光源,激光通過保偏光纖引導,用戶可輕松將干涉儀配置到任意需要測量位置,最大限度減小阿貝誤差。可根據用戶需求,配置單軸、雙軸以及三軸輸出,輕松實現多軸測量或多自由度測量。
SJ6000國產高精度激光干涉儀非接觸式、高精度的特點使其適用于各種復雜的運動系統,不僅僅局限于運動導軌,還可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。幫助企業提高設備性能,減少維護成本和停機時間,為制造業提供了一種精密的測量檢測方式。
SJ6000機床精度激光干涉校準儀可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。幫助企業提高設備性能,減少維護成本和停機時間,為制造業提供了一種精密的測量檢測方式。